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MOCVD设备的用途是什么?

时间:2021-12-15     

  MOCVD设备是基于VPE的一种新型气相外延生长技术。


  MOCVD设备使用III、II族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物作为晶体生长源材料,通过热分解反应在衬底上进行气相外延生长各种III-V主族、II-VI子族化合物半导体及其多组分固溶体。

MOCVD设备

  MOCVD设备的用途是什么?


  MOCVD设备全称是有机金属化学气象沉积设备,是在蓝宝石设备上生长GaN薄膜的专用设备。GaN材料是一种化合物半导体材料,是用于LED(发光二极管)的主要材料。


  MOCVD设备是LED芯片制造设备中关键的设备。其制造工艺复杂,技术含量高,价格昂贵,其成本在LED芯片制造中占比高,达到50%左右。MOCVD设备可用于氮化镓基半导体材料和砷化镓基半导体材料的生长领域。由于氮化镓基半导体材料的应用范围更广、需求更大,氮化镓基MOCVD设备在市场上占据主导地位,砷化镓基MOCVD设备的市场份额相对较小。

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